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    主分類
    A 農業
    B 作業;運輸
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    分類號 描述
    B 作業;運輸
    B81 微觀結構技術
    B81C 專門適用于制造或處理微觀結構的裝置或系統的方法或設備
    B81C1-00 在基片內或其上制造或處理的裝置或系統
    B81C3-00 從單獨處理過的部件組裝裝置或系統
    B81C5-00 .(轉入B81C 99/00)
    B81C99-00 本小類其他各組中不包括的技術主題

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