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主分類
A 農業
B 作業;運輸
C 化學;冶金
D 紡織;造紙
E 固定建筑物
F 機械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學
分類號
描述
B
作業;運輸
B81
微觀結構技術
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B81C
專門適用于制造或處理微觀結構的裝置或系統的方法或設備
查看
B81C1-00
在基片內或其上制造或處理的裝置或系統
查看
B81C3-00
從單獨處理過的部件組裝裝置或系統
查看
B81C5-00
.(轉入B81C 99/00)
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B81C99-00
本小類其他各組中不包括的技術主題
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