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主分類

B 作業；運輸

C 化學；冶金

D 紡織；造紙

E 固定建筑物

F 機械工程、照明、加熱

分類號	描述

C	化學；冶金

C30	晶體生長		查看

C30B	單晶生長		查看

C30B25-00	反應氣體化學反應法的單晶生長，例如化學氣相沉積生長		查看

C30B25-02	.外延層生長		查看

	C30B25-04	..圖案沉積，例如使用掩膜的	查看

	C30B25-06	..反應濺射法的	查看

	C30B25-08	..反應室；其所用材料的選擇	查看

	C30B25-10	..反應室或襯底的加熱	查看

	C30B25-12	..襯底夾持器或基座	查看

	C30B25-14	..氣體供給或排出用的裝置；反應氣流的變換	查看

	C30B25-16	..控制或調節	查看

	C30B25-18	..以襯底為特征的	查看

	C30B25-22	..夾層的工藝方法	查看

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