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    主分類
    
                        
    A 農(nóng)業(yè)
    
                        
    B 作業(yè)；運輸
    
                        
    C 化學；冶金
    
                        
    D 紡織；造紙
    
                        
    E 固定建筑物
    
                        
    F 機械工程、照明、加熱
    
                        
    G 物理
    
                        
    H 電學
    
                        
    
                    
    
                    		
                
                    
    
                        
    
                            分類號
                            描述
                            
                            
                        
    
                        
    
                        
    
C
化學；冶金

    

    

    
C30
晶體生長

    

    

    
C30B
單晶生長

    

    

    
C30B31-00
單晶或具有一定結(jié)構(gòu)的均勻多晶材料之擴散或摻雜工藝；其所用裝置

    

    

    
C30B31-06
.同氣態(tài)擴散材料接觸的

    

    

    
C30B31-08
..擴散材料為被擴散元素之化合物的

    

    

    
C30B31-10
..反應(yīng)室；其所用材料的選擇

    

    

    
C30B31-12
..反應(yīng)室的加熱

    

    

    
C30B31-14
..襯底夾持器或基座

    

    

    
C30B31-16
..氣體供給或排出的裝置；氣流的變換

    

    

    
C30B31-18
..控制或調(diào)節(jié)

    

                    
    
                    		
            
    
        
    
    
    

    




   


      



  
    
    
    
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