[发明专利]阀控制方法、压力控制方法和装置、半导体加工设备在审
| 申请号： | 202310919922.1 | 申请日： | 2023-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN116931611A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 杜传正;郑文宁;邹义涛 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种阀控制方法、压力控制方法和装置、半导体加工设备以及计算机可读存储介质，该方法中，在自学习模式运行的情况下，进入探测状态，控制压力调节阀的运动部件自第一极限位置移动至第二极限位置，并控制运动部件分步移动，且获取和存储第一极限位置和第二极限位置对应的腔室压力、每个第一记录点对应的运动部件位置和腔室压力；进入记录状态，将实际压力范围与学习压力范围进行对比，获取范围较小的一者的两个端值；获取范围较小的一者的两个端值分别对应的第一端值位置和第二端值位置；控制运动部件分步移动，且获取和存储每个第二记录点对应的运动部件位置和腔室压力。本方案既可以提高压力控制精度，又不需要过多的压力采集数量。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 方法 压力 装置 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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